Контроль герметичности отвечает на один из трех вопросов: есть ли течь, где она находится и каков ее поток. Метод выбирают по требуемой чувствительности, объему, доступу к поверхности и допустимому пробному газу.
Течь или газовыделение
Оба явления ухудшают достижимое давление, но ведут себя по-разному. Течь связана с поступлением газа через негерметичность. Газовыделение зависит от материалов, загрязнения, температуры и времени под вакуумом. Диагностика должна учитывать форму кривой давления и историю системы.
Методы
Падение или рост давления пригодны для интегральной оценки при известных условиях. Пробные газы помогают локализовать течь. Гелиевый масс-спектрометрический метод может давать количественный результат, если процедура, калибровка и фон контролируются.
Критерий приемки
Фраза «система герметична» недостаточна. Нужны допустимый поток течи, метод, направление испытания, давление, выдержка и температура. Результат должен быть сопоставим с требованиями процесса.
Для обсуждения системы направьте схему и критерий на mail@rankuum.ru.