Технологии
Турбомолекулярная и диффузионная откачка
Оба принципа применяются для высоковакуумной откачки, но различаются механизмом переноса газа, конструкцией и требованиями к эксплуатации. Турбомолекулярный насос Быстро вращающиеся роторные ступени передают молекулам импульс в направлении
Вакуумные насосы и диапазоны применения
Насосы различаются механизмом переноса газа, рабочим диапазоном давления, допустимой нагрузкой и требованиями к предварительной откачке. Универсального типа для всех процессов нет. Объемные насосы Пластинчато-роторные и винтовые насосы пери
Вакуумное и электронно-лучевое испарение
При испарительном PVD-процессе материал переводится в паровую фазу и переносится к подложке при пониженном давлении. Свойства покрытия зависят от материала, давления, геометрии, температуры подложки и подготовки поверхности. Источники При т
Вакуумная термообработка и защитные атмосферы
Термический результат определяется температурой, временем, скоростью изменения температуры и химической активностью среды. Вакуум уменьшает парциальное давление газов, но не гарантирует отсутствие реакций или загрязнения. Вакуумный режим Пр
Проектирование вакуумной системы
Проектирование начинается с границы системы: где измеряется давление, какой объем откачивается и какой газ поступает во время процесса. Затем связываются насос, трубопровод, клапаны, камера, измерение и управление. Эффективная быстрота отка
Пластинчато-роторная откачка
В пластинчато-роторном насосе эксцентрично расположенный ротор и подвижные пластины образуют изменяющиеся рабочие объемы. Газ захватывается со стороны входа, сжимается и удаляется через выпуск. Роль рабочей жидкости В маслозаполненном испол
Основы вакуума и единицы давления
Вакуум — состояние газа при давлении ниже окружающего атмосферного. В расчетах вакуумных систем используют абсолютное давление: его ноль соответствует идеализированному отсутствию частиц. Избыточное давление отсчитывается от атмосферы и без
Насосы Рутса и бустерные ступени
Насос Рутса содержит синхронно вращающиеся роторы, которые переносят газ от входа к выходу без внутреннего сжатия, характерного для многих объемных насосов. Поэтому он применяется в согласованной системе с форвакуумной ступенью. Зачем нужна
Магнетронное распыление
В магнетронном процессе ионы плазмы бомбардируют мишень, выбивая частицы материала, которые осаждаются на подложке. Магнитное поле удерживает электроны вблизи поверхности мишени и поддерживает разряд. Параметры процесса На результат влияют
Контроль герметичности вакуумных систем
Контроль герметичности отвечает на один из трех вопросов: есть ли течь, где она находится и каков ее поток. Метод выбирают по требуемой чувствительности, объему, доступу к поверхности и допустимому пробному газу. Течь или газовыделение Оба