Вакуумное нанесение покрытий
Автоматические установки GFC предназначены для серийного нанесения оптических и функционально-декоративных покрытий на стеклянные и полимерные подложки методами физического осаждения из паровой фазы.
Назначение и технологическая роль
Автоматические установки GFC предназначены для серийного нанесения оптических и функционально-декоративных покрытий на стеклянные и полимерные подложки методами физического осаждения из паровой фазы.
Установка нанесения покрытий объединяет вакуумную камеру, откачку, источники материала, держатели подложек, газовую систему, питание и автоматизацию технологического цикла.
Конструкция и интеграция
Конфигурацию определяют материал и геометрия подложки, состав и функция покрытия, выбранный метод осаждения, загрузка, производительность, нагрев и способ контроля результата.
| Раздел | Вакуумное нанесение покрытий |
|---|---|
| Серия или модель | GFC |
| Тип оборудования | Высокопроизводительная автоматическая вакуумная установка нанесения покрытий серии GFC |
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Вакуумная камера | Ø1300 × 1450 мм |
| Материал вакуумной камеры | SUS304 |
| Предельное остаточное давление | ≤0,0002 Па |
| Время откачки от атмосферного давления до 4,0 × 10⁻³ Па | ≤15 мин |
| Диапазон частоты вращения держателя подложек | 3–30 об/мин |
| Максимальная температура нагрева | 350 °C |
| Температурная равномерность после 20 минут выдержки | 250 ± 10 °C |
| Минимальная температура низкотемпературного откачного устройства | -130 °C |
| Расход охлаждающей воды | 140 л/мин |
| Масса нетто | ≈ 4500 кг |
Критерии подбора
| Параметр проекта | Что необходимо определить |
|---|---|
| Подложка | Материал, размеры, количество и допустимая тепловая нагрузка |
| Покрытие | Материал слоя, толщина, однородность и критерий приёмки |
| Процесс | Испарение, распыление, реактивная среда и подготовка поверхности |
| Загрузка | Камерная, рулонная или непрерывная схема транспортирования |
| Управление | Рецепты, регистрация параметров, блокировки и интеграция |