Испарение и распыление по-разному формируют поток материала. Выбор зависит от материала покрытия, состава слоя, геометрии подложки, тепловых ограничений, требуемой однородности и производительности. Для сравнения нужны критерии качества и метод контроля. Нельзя выбирать процесс только по скорости осаждения: важны адгезия, загрязнение, стабильность рецепта и обслуживание источников.
Испарение или магнетронное распыление
Нужен подбор по параметрам?
Опишите задачу и приложите исходные требования в письме.