Словарь содержит русские предпочтительные термины по вакуумной откачке, PVD-процессам, термообработке и контролю герметичности. Полный набор из 40 терминов хранится в GLOSSARY_RU.csv и импортируется на эту страницу.
При первом упоминании международной аббревиатуры приводится русская расшифровка. Названия моделей и буквенно-цифровые индексы не переводятся. Термин «вакуум» не используется как числовая характеристика без абсолютного давления и условий измерения.
Термины
| Термин | Определение |
|---|---|
| абсолютное давление | Давление, отсчитываемое от абсолютного вакуума. |
| избыточное давление | Разность между абсолютным и атмосферным давлением в точке измерения. |
| предельное остаточное давление | Минимальное давление, достигаемое насосом в установленных условиях испытания. |
| рабочее давление | Давление, при котором выполняется технологический процесс или длительно работает оборудование. |
| быстрота откачки | Объемный расход газа через сечение при заданном давлении; у камеры зависит от проводимости линии. |
| поток газа | Произведение давления на объемный расход; в вакуумной технике обычно обозначается Q. |
| газовая нагрузка | Суммарный поток газа, который должна удалять вакуумная система. |
| газовыделение | Выделение газа с поверхностей и из объема материалов внутри вакуумной системы. |
| натекание | Поступление газа через негерметичность из области более высокого давления. |
| проницаемость | Перенос газа через сплошной материал вследствие растворения и диффузии. |
| проводимость вакуумной линии | Способность элемента вакуумной системы пропускать газ при заданном режиме течения. |
| эффективная быстрота откачки | Быстрота откачки в выбранной точке системы с учетом сопротивления соединительной линии. |
| форвакуумный насос | Насос, создающий давление на входе или выходе высоковакуумной ступени, необходимое для ее работы. |
| пластинчато-роторный вакуумный насос | Объемный насос с вращающимся ротором и подвижными пластинами. |
| сухой винтовой вакуумный насос | Объемный насос с винтовыми роторами, рабочая камера которого не требует масла для уплотнения. |
| вакуумный насос Рутса | Объемный роторный насос, обычно применяемый как бустерная ступень совместно с форвакуумным насосом. |
| турбомолекулярный насос | Кинетический насос, передающий импульс молекулам газа быстро вращающимися ступенями. |
| диффузионный вакуумный насос | Пароструйный насос, создающий направленный поток рабочего пара для переноса газа к выходу. |
| форвакуумная линия | Участок между высоковакуумным насосом и форвакуумной ступенью. |
| обратный поток паров | Перенос паров рабочей жидкости насоса в сторону вакуумной камеры. |
| оборудование для вакуумного нанесения покрытий | Комплекс оборудования для формирования покрытий при пониженном давлении. |
| физическое осаждение из паровой фазы | Группа процессов получения покрытия переносом вещества из источника к подложке без химического формирования летучих прекурсоров как обязательного механизма. |
| магнетронное распыление | Распыление мишени ионами плазмы в разряде, стабилизированном магнитным полем. |
| реактивное магнетронное распыление | Распыление в присутствии реактивного газа для формирования соединения на подложке. |
| испаритель | Узел, переводящий материал покрытия в паровую фазу; тип источника указывается отдельно. |
| электронно-лучевой испаритель | Источник, в котором материал нагревается сфокусированным электронным пучком. |
| подложка | Изделие или материал, на поверхность которого наносится покрытие. |
| мишень | Материал, распыляемый в катодном узле установки. |
| базовое давление | Давление в камере перед подачей рабочего газа и началом технологического процесса. |
| рабочее давление процесса | Давление в камере во время технологической стадии. |
| рулонное вакуумное нанесение покрытий | Непрерывная обработка гибкого материала с перемоткой рулона через технологическую зону. |
| вакуумная печь | Печь для термического процесса при пониженном давлении и, при предусмотренной конструкции, в контролируемой атмосфере. |
| вакуумный сушильный шкаф | Камера для сушки при пониженном давлении; конкретное название выбирают по конструкции. |
| защитная атмосфера | Контролируемая газовая среда, ограничивающая нежелательное взаимодействие изделия с окружающей средой. |
| тигель | Емкость для материала, подвергаемого нагреву или испарению. |
| ток электронного пучка | Электрический ток, переносимый электронным пучком. |
| гашение дуги | Обнаружение и прекращение нежелательного дугового разряда средствами источника питания или управления. |
| контроль герметичности | Поиск, локализация или количественная оценка течей выбранным методом. |
| гелиевый течеискатель | Прибор для обнаружения и измерения потока пробного газа гелия через течь. |
| пусконаладочные работы | Комплекс проверок и настроек перед вводом оборудования в предусмотренный режим эксплуатации. |