Вакуумное нанесение покрытий
JC650 — вертикальная камерная установка магнетронного распыления с тремя мишенями и вращающимся держателем подложек для формирования многослойных покрытий.
Назначение и технологическая роль
JC650 — вертикальная камерная установка магнетронного распыления с тремя мишенями и вращающимся держателем подложек для формирования многослойных покрытий.
Установка нанесения покрытий объединяет вакуумную камеру, откачку, источники материала, держатели подложек, газовую систему, питание и автоматизацию технологического цикла.
Конструкция и интеграция
Конфигурацию определяют материал и геометрия подложки, состав и функция покрытия, выбранный метод осаждения, загрузка, производительность, нагрев и способ контроля результата.
| Раздел | Вакуумное нанесение покрытий |
|---|---|
| Серия или модель | JC650 |
| Тип оборудования | Установка магнетронного распыления JC650 |
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Частота вращения держателя | 0–30 об/мин |
| Количество магнетронных мишеней | 3 шт. |
Критерии подбора
| Параметр проекта | Что необходимо определить |
|---|---|
| Подложка | Материал, размеры, количество и допустимая тепловая нагрузка |
| Покрытие | Материал слоя, толщина, однородность и критерий приёмки |
| Процесс | Испарение, распыление, реактивная среда и подготовка поверхности |
| Загрузка | Камерная, рулонная или непрерывная схема транспортирования |
| Управление | Рецепты, регистрация параметров, блокировки и интеграция |