Вакуум — состояние газа при давлении ниже окружающего атмосферного. В расчетах вакуумных систем используют абсолютное давление: его ноль соответствует идеализированному отсутствию частиц. Избыточное давление отсчитывается от атмосферы и без явного пересчета не подходит для описания глубокого вакуума.
Единицы
Основная единица СИ — паскаль (Па). В технической документации также встречаются мбар и Торр. При переводе нужно сохранять исходное значение и не добавлять лишнюю точность. Границы диапазонов вакуума зависят от принятой инженерной классификации.
Почему давление меняется
Насос удаляет газ, но одновременно в камеру поступает газовая нагрузка: через течи, газовыделение материалов, проницаемость и технологический процесс. Для установившегося режима полезна связь p = Q / Sэфф, где Q — суммарный поток газа, а Sэфф — эффективная быстрота откачки у камеры.
Ограничения расчета
Формулы первого приближения не учитывают смену режима течения, зависимость характеристик насоса от давления, десорбцию и конденсируемые пары. Поэтому расчет служит проверкой порядка величины, а не заменой инженерной модели.
Для задачи подбора укажите абсолютные давления и единицы. Вопросы можно направить на mail@rankuum.ru.