Перейти к содержанию

Проектирование вакуумной системы

Проектирование начинается с границы системы: где измеряется давление, какой объем откачивается и какой газ поступает во время процесса. Затем связываются насос, трубопровод, клапаны, камера, измерение и управление.

Эффективная быстрота откачки

Соединительная линия ограничивает насос. В упрощенном виде:

1 / Sэфф = 1 / Sнас + 1 / C,

где Sнас — быстрота откачки насоса, а C — проводимость линии. Длинный или узкий трубопровод способен сделать увеличение паспортной быстроты насоса малоэффективным.

Газовая нагрузка

Суммарный поток включает натекание, газовыделение, проницаемость и технологическую подачу. Для установившегося режима p = Q / Sэфф помогает проверить требуемую эффективную быстроту, если величины определены в согласованных единицах.

Последовательность проектирования

  1. Зафиксировать начальное, рабочее и конечное давление.
  2. Описать состав газа и режим процесса.
  3. Оценить газовую нагрузку и время цикла.
  4. Выбрать схему ступеней откачки.
  5. Рассчитать проводимость линии по режимам течения.
  6. Определить измерение, клапаны, блокировки и безопасные состояния.
  7. Проверить обслуживание и восстановление после отказа.

Для расчета конкретной системы направьте исходные данные на mail@rankuum.ru.

Нужен подбор по параметрам?

Опишите задачу и приложите исходные требования в письме.