Насосы различаются механизмом переноса газа, рабочим диапазоном давления, допустимой нагрузкой и требованиями к предварительной откачке. Универсального типа для всех процессов нет.
Объемные насосы
Пластинчато-роторные и винтовые насосы периодически захватывают и вытесняют порцию газа. Они могут выполнять форвакуумную функцию. Состав газа, пары, пыль и конденсат определяют требования к исполнению и обслуживанию.
Насос Рутса обычно работает как бустерная ступень. Он увеличивает быстроту откачки в согласованном диапазоне, но требует форвакуумного насоса и защиты от недопустимого перепада давления.
Высоковакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы передают импульс молекулам быстро вращающимися ступенями. Диффузионные используют направленный поток пара рабочей жидкости. Оба направления требуют корректной форвакуумной системы; требования к чистоте и защите камеры различаются.
Критерии выбора
Сравнивайте рабочее, а не только предельное давление; эффективную быстроту у камеры, а не только на входе насоса; устойчивость к реальному газу и режиму; обслуживание, охлаждение, питание и управление.
Для подбора модели направьте расчетные параметры системы на mail@rankuum.ru.