База знаний
Как выбрать вакуумный насос
Начните с процесса: объем камеры, начальное, рабочее и конечное абсолютное давление, требуемое время цикла. Затем опишите газовую нагрузку, состав и температуру газа, пары, пыль и конденсат. Укажите режим работы, ограничения по маслу, диаме
Испарение или магнетронное распыление
Испарение и распыление по-разному формируют поток материала. Выбор зависит от материала покрытия, состава слоя, геометрии подложки, тепловых ограничений, требуемой однородности и производительности. Для сравнения нужны критерии качества и м
Что приложить к запросу ТКП
Приложите описание процесса, схему, материал и размеры изделия, давления с указанием абсолютной шкалы, газовую среду, производительность и режим работы. Для существующей системы добавьте модели оборудования, размеры линии и наблюдаемые граф
Быстрота откачки насоса и у камеры
Паспортная быстрота обычно относится к входу насоса. Между насосом и камерой находятся трубопровод, клапаны и ловушки, которые ограничивают поток. В первом приближении 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C . Чем ниже проводимость C , тем меньше выигрыш от