Вакуумное откачное оборудование
Турбомолекулярные насосы серии F предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума и работают только в составе системы с подходящей форвакуумной ступенью.
Назначение и технологическая роль
Турбомолекулярные насосы серии F предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума и работают только в составе системы с подходящей форвакуумной ступенью.
Вакуумное откачное оборудование выбирают как часть системы: насос, соединительная линия, арматура, измерение и управление должны работать в одном диапазоне давлений и газовых нагрузок.
Конструкция и интеграция
При интеграции учитывают состав и температуру газа, пары и частицы, проводимость трубопровода, требования к форвакууму, охлаждению, выпуску и защите от недопустимого режима.
| Раздел | Вакуумное откачное оборудование |
|---|---|
| Серия или модель | F |
| Тип оборудования | Турбомолекулярный насос серии F |
Критерии подбора
| Параметр проекта | Что необходимо определить |
|---|---|
| Давление | Начальное, рабочее и конечное абсолютное давление |
| Быстрота откачки | Требуемое время цикла и эффективная быстрота у камеры |
| Газовая среда | Состав газа, пары, пыль, конденсат и технологическая подача |
| Соединительная линия | Диаметр, длина, арматура и проводимость тракта |
| Инженерные сети | Питание, охлаждение, выпуск, вентиляция и управление |