Вакуумное откачное оборудование
Комбинированные молекулярные насосы серии FF формируют высоковакуумную ступень для исследовательских и технологических установок, требующих согласованного форвакуума и управления приводом.
Назначение и технологическая роль
Комбинированные молекулярные насосы серии FF формируют высоковакуумную ступень для исследовательских и технологических установок, требующих согласованного форвакуума и управления приводом.
Вакуумное откачное оборудование выбирают как часть системы: насос, соединительная линия, арматура, измерение и управление должны работать в одном диапазоне давлений и газовых нагрузок.
Конструкция и интеграция
При интеграции учитывают состав и температуру газа, пары и частицы, проводимость трубопровода, требования к форвакууму, охлаждению, выпуску и защите от недопустимого режима.
| Раздел | Вакуумное откачное оборудование |
|---|---|
| Серия или модель | FF |
| Тип оборудования | Комбинированный молекулярный насос серии FF |
Критерии подбора
| Параметр проекта | Что необходимо определить |
|---|---|
| Давление | Начальное, рабочее и конечное абсолютное давление |
| Быстрота откачки | Требуемое время цикла и эффективная быстрота у камеры |
| Газовая среда | Состав газа, пары, пыль, конденсат и технологическая подача |
| Соединительная линия | Диаметр, длина, арматура и проводимость тракта |
| Инженерные сети | Питание, охлаждение, выпуск, вентиляция и управление |